レーザーテック株式会社　取り扱い機器一覧

コンフォーカル顕微鏡初の3ラインCCD搭載！リアルカラーの高精細コンフォーカルHD画像を取得可能としました。色再現性の高い画質に加え、サンプル表面の細やかな情報も繊細な画像としてディスプレイ上に再現されます。

Z粗動ストローク150㎜、パネル基板検査のために、門柱型鏡基（ゲート）に3CCDカラーコンフォーカル顕微鏡H1200ヘッドを取り付けました。

150㎜、200㎜、300㎜ウェハー用検査のために、3CCDカラーコンフォーカル顕微鏡H1200と小型対物レンズ型AFMを組み合わせました。

コンフォーカル顕微鏡H1200の最高120F/secの高速フレームレートを活かした自動検査機。従来の手動・目視の検査を大幅に省力化できます。

最大の特長は、”業界初”試料表面の微細部分の色・形状まで正確に再現できる表現力。共焦点顕微鏡ならではの、高低差のある試料もすべての部分に完全に焦点を合わせた画像が得られるため、ボケやにじみがなく、くっきりとした画像を表現できます。

位相シフト干渉法との組合せにより、ナノレベルの段差まで測定が可能です。コンフォーカル顕微鏡の高解像度画像と干渉計の高分解能Zデータを同時に取得できます。

試料に合わせて5種類の波長を使い分けることで、今まで見えなかった各層の情報が得られます。また、130万画素 (SXGA) のRGB3フレームをフルカラー画像として重ねて表示。早く、美しい色の再現を実現しました。