グロー放電質量分析とは

グロー放電質量分析（GD-MS）は、めっきや熱処理などの表面処理を施された試料の無機分析に用いられる質量分析法です。グロー放電を利用して、試料の深さ方向の元素分布を測定します。

誘導結合プラズマ質量分析のような溶液化の前処理が不要で、直接分析が可能です。

グロー放電発光分光分析（GD-OES）も同様の手法ですが、大きな違いは試料に含有されている成分元素（原子）を励起し、元素特有の発光線（スペクトル線）を測定することで、元素の定性分析、定量分析を行います。

グロー放電質量分析の特徴

特徴

• 同時に多元素の分析が可能（Li～U）（水素、希ガス等の一部の元素を除く）
• 深さ方向：μm～
• 超高感度（ppb～）

用途

• 金属（鉄鋼、非鉄）、非導電率材料（ガラス、セラミックスなど）の表面の深さ方向の元素分析
• 粉体中不純物の分析
• 高純度金属の分析