二次イオン質量分析(SIMS)とは

試料にCs+ 等の一次イオンを入射し、発生する二次イオンを検出して極表層の微量元素の分析が可能。装置によっては、スパッターリングによって、深さ方向の分析も可能である。 半導体中の不純物の深さ方向分析や多層膜における元素の相互拡散などの解析に用いられている。


二次イオン質量分析装置(SIMS)について

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ナノサイエンス株式会社 【東京都豊島区】
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【表面分析、信頼性試験の受託】各種表面分析(不純物分析、組成分析、形態観察/構造解析)及び、EIAJ規格、JEDEC規格、MIL規格などに対応した電子部品の環境試験、ESD試験などを実施。標準試料も販売。
株式会社クオルテック 【大阪府堺市】
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EBSD分析やパワーサイクル試験などの受託解析・信頼性試験から、研磨試料の作製、高耐食性無電解Niめっき液の開発、EMC対策のコンサルティングまで、トータル・ソリューションを提供いたします。
株式会社日立パワーソリューションズ  【茨城県日立市】
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新鋭機器による信頼性試験を提供。高度な技術と豊富な経験で、お客様のご要望に専門スタッフがお応えします。
SGSジャパン株式会社 【神奈川県横浜市】
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世界最大の第三者認証・試験機関として、SEMI、CEマーク、フィールドラベルなど安全規格適合のための試験、あらゆる信頼性試験に対応します。ネットワークを活かし、圧倒的な試験コスト削減も可能です。
株式会社日立アーバンサポート 【東京都千代田区】

材料の表面を数10μm領域からppmオーダーで高感度分析。ディスプレイのデバイス・構成材料などに、最新の分析機器を用いたナノ領域での「微小部」「薄膜」解析と、的確な技術提案を行います。

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