ラザフォード後方散乱分析(RBS)とは

薄膜の組成・密度を分析する方法の一種で、ヘリウムなどの軽元素イオンを加速器を用いて高速で試料に当て、試料中の原子核に衝突してはね返ってきたイオンのエネルギーの大きさを測定することで、相手元素やその分布などを分析する。この方法により、極表面領域の解析も可能。


ラザフォード後方散乱分析装置(RBS)について

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株式会社クオルテック 【大阪府堺市】
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EBSD分析やパワーサイクル試験などの受託解析・信頼性試験から、研磨試料の作製、高耐食性無電解Niめっき液の開発、EMC対策のコンサルティングまで、トータル・ソリューションを提供いたします。
ナノサイエンス株式会社 【東京都豊島区】
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【表面分析、信頼性試験の受託】各種表面分析(不純物分析、組成分析、形態観察/構造解析)及び、EIAJ規格、JEDEC規格、MIL規格などに対応した電子部品の環境試験、ESD試験などを実施。標準試料も販売。
SGSジャパン株式会社 【神奈川県横浜市】
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世界最大の第三者認証・試験機関として、SEMI、CEマーク、フィールドラベルなど安全規格適合のための試験、あらゆる信頼性試験に対応します。ネットワークを活かし、圧倒的な試験コスト削減も可能です。

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