分光エリプソメトリー解析とは

膜厚の構造解析を主な目的とした解析方法で、光の偏光状態の変化を測定して屈折率、消衰係数、膜厚をフィッティング解析にて算出。この解析により、次のことが可能。1.バルク及び薄膜の近紫外、可視、近赤外域で屈折率や消衰係数といった光学定数の波長分散が算出可能。2.表面変質層の推定が可能なため、表面粗さの解析が可能。


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