微小角入射X線散乱解析(GIXS)とは

X線の全反射現象を利用し、平坦・平滑な物質の表面にX線を斜入射で照射したときに観測される散乱X線を用いて検体の表面や(積層)薄膜の分析(各層の厚み、表面・各界面の荒さ、密度等)を分析する構造解析方法。 各薄膜の膜厚・密度と界面の粗さを数%の精度で(原理的には1Åの精度でラフネスを)評価することができる。


微小角入射X線散乱装置(GIXS)について

微小角入射X線散乱解析(GIXS)に対応可能な企業

ナノサイエンス株式会社 【東京都豊島区】
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【表面分析、信頼性試験の受託】各種表面分析(不純物分析、組成分析、形態観察/構造解析)及び、EIAJ規格、JEDEC規格、MIL規格などに対応した電子部品の環境試験、ESD試験などを実施。標準試料も販売。
株式会社クオルテック 【大阪府堺市】
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EBSD分析やパワーサイクル試験などの受託解析・信頼性試験から、研磨試料の作製、高耐食性無電解Niめっき液の開発、EMC対策のコンサルティングまで、トータル・ソリューションを提供いたします。

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