フォトルミネッセンス解析とは

超格子構造や半導体結晶の構造解析などに用いられる手法で、光によりエネルギーを与えた時に生じる発光(フォトルミネッセンス)を利用し、”結晶中の欠陥”を含む結晶中の構造を高感度に検出することで、不純物や欠陥に起因した発光の強度分布を測定し、結晶の均一性や欠陥の分布状況を高い分解能で評価する。
この手法の特徴として、測定の際に検体を破壊することがなく、また特殊な試料前処理や電極付けを必要としないことが挙げられる。測定方法には波長と強度の関係を観察するためのスペクトル測定と、検体から放出される様々な発光の強度分布を測定するマッピング測定の2種類がある。


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