カソードルミネセンス解析とは

高速電子を、電子線(電子ビーム)の形で試料に照射したときに発する光(カソードルミッセンス、CL)を利用した構造解析の方法で、結晶構造、微量不純物、格子欠陥、結晶歪の解析に使用されている。電子ビームは簡単に照射領域を絞ることが可能なため、ナノ材料やナノデバイスの応力分布の解明に有効な手段であるとされている。


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株式会社クオルテック 【大阪府堺市】
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