走査型電子顕微鏡観察(SEM)とは

走査型電子顕微鏡(SEM)で観察すること。

細かく絞った電子線を試料表面に照射して、発生する二次電子、反射電子の信号を検出し、試料の微細構造の観察組成元素の定性分析/定量分析を行う。

観察例

イオンマイグレーション(SEM観察)

イオンマイグレーション
(写真提供:
パナソニック株式会社 プロダクト解析センター様)

リチウムイオン電池正極表面のSEM像

リチウムイオン電池正極表面
(写真提供:
株式会社日立パワーソリューションズ様)

走査型電子顕微鏡観察(SEM)に用いる装置

走査型電子顕微鏡(SEM)
試電子銃で発生した電子線を収束させた細い電子線を料に照射し、その表面形態を観察する装 ...

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