集束イオンビーム加工観察(FIB加工観察)

集束イオンビーム(FIB:Focused Ion Beam)は、イオンを電界で加速したビームを、静電レンズ系により数nm~数百nm径に集束したものです。
FIBを試料表面に走査させることで、発生する2次電子を検出し、試料表面の様子を観察するための画像(SIM像)を得ることができます。

また、FIBは金属やセラミックスなどの材料に対して、目的の場所を高い位置精度で正確に断面加工することが可能です。

そのため、FIB加工観察は、微細構造を有する実装基板、めっき処理した製品の表面改質層、はんだ付けの接合部、各種複合材料などの断面観察に適しています

FIB加工の用途

FIBにはそのほかに以下のような用途があります。

集束イオンビーム(FIB)加工観察装置に用いる装置

集束イオンビーム(FIB)加工観察装置
ガリウムイオン源からイオンビームを抽出して5~10nmに集束させた上で、試料に照射させる装置 ...

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