オージェ電子/X線光電子分光分析装置とは

電子線を物質の表面に照射すると、電子と物質とが相互作用し、様々な二次電子やX線が放出される。その中でもオージェ電子と特定エネルギーのX線(MgKα、AlKα)を照射・検出する装置。オージェ電子分光装置とX線光電子分光装置の働きをする。


オージェ電子/X線光電子分光分析装置で対応可能な試験・分析

オージェ電子/X線光電子分光分析装置 取り扱い企業

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