二次イオン質量分析装置(SIMS)とは

酸素等のイオン(一次イオン)を加速して固体試料表面に照射し、散乱して飛び出してきた粒子のうち電荷を持つ粒子(二次イオン)の質量を分析する装置。この装置を利用することにより試料の組成を求めることができる。
略称:SIMS
別称:イオンマイクロプローブ

二次イオン質量分析装置(SIMS)で対応可能な試験・分析

二次イオン質量分析装置(SIMS) 取り扱い企業

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