集束イオンビーム加工観察装置(FIB)とは

ガリウムイオン源からイオンビームを抽出して5~10nmに集束させた上で、試料に照射させる装置。試料の表面状態を高分解能で観察可能。主に、デバイス、金属薄膜、複合材料、有機材料の微細断面加工と観察に適している。
略称:FIB

集束イオンビーム加工観察装置(FIB)で対応可能な試験・分析

集束イオンビーム加工観察装置(FIB) 取り扱い企業

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