X線光電子分光分析装置(XPS)とは

物質表面に軟X線を照射した時、光電効果により飛び出した電子のエネルギーを測定する装置。固体の表面から数nmの深さ領域に関する元素や化学結合状態の分析に用いる。またアルゴンイオンによるエッチングを行なうことにより、深さ方向の変化観測も可能。
略称:XPS
別称:ESCA

X線光電子分光分析装置(XPS)で対応可能な試験・分析

X線光電子分光分析装置(XPS) 取り扱い企業

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