ラザフォード後方散乱分析装置(RBS)とは

軽元素(ヘリウム等)イオンを高速で試料に当てて後方散乱する粒子を検出することで、相手元素やその分布などを分析する非破壊分析装置。ナノ薄膜の分析などに用いられる。
略称:RBS

ラザフォード後方散乱分析装置(RBS)で対応可能な試験・分析

ラザフォード後方散乱分析装置(RBS) 取り扱い企業

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