X線透過検査装置とは

X線を利用して、試料の内部を透過して観察する装置。
試料を分解することなく、非破壊・非接触で、内部構造状態を観察・検査・計測できます。

X線透過検査装置の原理

X線の、密度の高いものは透過しにくく、低いものは透過しやすい性質を利用しています。

透過したX線を検出器に投影することで、透過量の違いで生じるコントラストの濃淡により、試料内部を透過して観察することができます。

X線透過検査装置の特徴

倍率、分解能、透過力、傾斜、ステージの大きさなどは、装置によって異なります。
試料のサイズ・評価目的に適した装置を使用することで、幅広い観察・検査を行うことができます。

また、一方向からの透過画像ではなく、3Dの撮像が得られるX線CT検査装置や、熱変化を透過観察できるX線加熱検査装置などもあります。

X線透過検査装置の用途

肉眼だけでは判断できない、内部の欠陥や構造を確認することが可能です。

  • ボンディングワイヤーの断線、クラックの検査
  • BGA基板のボイド検査、Cu配線の形状観察
  • パッケージ内部のクラック検査
  • TSVのボイド観察
  • 樹脂シート内の異物検査 など

X線透過検査装置を使用する試験・分析

非破壊試験
非破壊試験とは、機械部品や構造物を破壊しないで、欠陥や劣化の状況を検査する試験で ...

X線透過検査装置の取り扱い企業

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