3次元アトムプローブ（3D-APT）とは

三次元アトムプローブトモグラフィ（3D-APT）は高感度の三次元空間イメージングと組成分析を提供するナノスケールの分析手法です。

電子線を使うTEM/STEMよりも高感度で、複雑な構造を持つ物質も詳しく調べることができます。原子レベルでの空間分解能と高い検出感度を持ち、微量元素の分布や界面評価などに使われます。

鉄鋼などの結晶粒界における微量元素の分布や、半導体などの薄膜積層膜の界面評価などに適した分析手法です。

• 製品・技術3D-APT：三次元アトムプローブトモグラフィー分析

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