X線回折（XRD）とは

X線回折を用いると、以下に示すようなさまざまな分析・測定が可能となります。

• 定性分析（構成成分の同定）
• 定量分析（構成成分の比率）
• 結晶子サイズ
• 結晶化度
• 結晶性・配向性
• 粒径や粒径分布
• 分子構造・結晶構造
• 残留応力
• 薄膜の膜厚・密度・表面粗さ・積層構造・エピ膜の評価

X線回折法は基本的には非破壊分析であり、無機物質や有機物質の粉末や単結晶、高分子材料、タンパク質、金属部品、有機・無機半導体薄膜など、分析対象を選ばないため、物質の状態や物性を調べる手段として、研究や生産・品質管理の分野で広く利用されています。

X線回折には、試料の状態や測定目的に応じた特徴的な手法が多数あり、その利用方法も多岐にわたります。

X線回折の種類

粉末X線回折

多結晶体を試料とする測定法。得られる回折X線強度は、さまざまな方向を向いた微小結晶からの回折の総和となります。実測した回折パターンを既知物質の回折パターンと比較することにより、構成成分の同定が可能です。加えて各結晶相の積分強度を比較することで、定量分析を行うことができる。また回折ピークの広がりからは結晶子サイズを、回折ピークとハローの面積比からは結晶化度を調べることができます。

単結晶X線回折

単結晶を試料とする測定法。単結晶の各結晶格子面からのX線回折強度を測定しフーリエ変換することで、単結晶を構成する化合物の立体構造を決定することができます。新規合成物など、未知化合物の分子構造の決定に適しています。

そのほかに、薄膜解析、X線小角散乱、残留応力解析、X線回折顕微法（X線トポグラフ）などがあります。

（情報提供：株式会社リガク様）

JIS A1481-3

建材製品中のアスベスト含有率測定方法-第3部：アスベスト含有率のX線回折定量分析方法

JIS H7805

X線回折法による金属触媒の結晶子径測定方法

JIS K0131

X線回折分析通則