グロー放電質量分析とは

グロー放電質量分析（GD-MS）は、Glow Discharge Mass Spectrometryの略で、質量分析法の一つで、めっき・熱処理・蒸着・スパッタなど各種表面処理が施された試料の無機分析を行います。励起放電としてグロー放電を使用し、試料（薄膜）の深さ方向の元素分布を測定します。

高周波を用いてアルゴンガスを電離状態にし、高温（5,000～10,000K）のプラズマを発生させます。水溶液試料をネブライザで霧状にしてそのプラズマ内に導入して、プラズマのエネルギーを外部から与えると、試料中の原子がイオン化されます。イオン化された各原子を電場や磁場を用いて分離し、真空内に取り込む事で、各元素の濃度を測定し質量分析を行います。板状試料を用いると、試料表面から元素の深さ方向分布を測定することが可能です。

誘導結合プラズマ質量分析のような溶液化の前処理が不要で、直接分析が可能です。

グロー放電発光分光分析（GD-OES）も同様の手法であるが、大きな違いは試料に含有されている成分元素（原子）を励起し、元素特有の発光線（スペクトル線）を測定することで、元素の定性分析、定量分析を行うのがグロー放電発光分光分析です。

誘誘導結合プラズマ質量分析（ICP-MS）の特徴

特徴

• 同時に多元素の分析が可能（Li～U）（水素、希ガス等の一部の元素を除く）
• 深さ方向：μm～
• 超高感度（ppb～）

用途

• 金属（鉄鋼、非鉄）、非導電率材料（ガラス、セラミックスなど）の表面の深さ方向の元素分析
• 粉体中不純物の分析
• 高純度金属の分析