X線光電子分光分析(XPS)とは

X線光電子分光分析装置

X線光電子分光分析装置
株式会社島津テクノリサーチ様 提供)

X線光電子分光分析は、XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)もしくはESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)と略されます。表面数nmに存在する元素(Li~U)に対し、定性・定量分析のみならず、材料の特性を決める化学結合状態分析ができる手法です。

試料表面にMgKα線やAlKα線などの軟X線を照射すると、電子が光エネルギーを吸収し、光電子として真空中にたたき出されます。生じた光電子の結合エネルギーは元素固有のものなので、そこからを測定することで、試料表面の種類・存在量・化学結合状態を分析することができます。

試料表面の数nmの元素分析が可能であるが、Ar+やC60+イオンエッチングを併用することで深さ方向の元素分布を知ることが可能となります。

X線光電子分光分析の特徴
特徴
  • 同時に多元素の分析が可能(Li~U)
  • 深さ方向:~数nmの測定可能
  • 化学結合状態分析が可能
用途
  • 金属、導体、絶縁体、無機物、有機物の元素分布の分析
  • 金属膜(Cu等)の表面改質層の化学状態の確認

X線光電子分光分析(XPS)に対応可能な企業

X線光電子分光分析(XPS)に用いる装置

  • X線光電子分光分析装置
    試料表面に軟X線を照射し、そのエネルギーを測定することで、試料表面の元素の定性・定量分析し、化学状態を分析する装置。

関連規格

JIS K0145
表面化学分析-X線光電子分光装置-エネルギー軸目盛の校正
JIS K0152
表面化学分析-X線光電子分光法-強度目盛の繰返し性、再現性及び一定性
JIS K0162
表面化学分析-X線光電子分光法-装置性能を示す主要な項目の記載方法
JIS T0306
金属系生体材料の不動態皮膜のX線光電子分光法(XPS)による状態分析
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