電子線マイクロアナリシス分析（EPMA）とは
極表面近傍の元素分布状態を電子線マイクロアナライザ（EPMA）で解析することを指します。
固体試料の微小領域に電子線を照射し、試料中から発生する電子線をSEM観察します。
そこで検出した特性X線は、元素ごとに固有の波長を持っているので、試料の構成元素や含有量、試料内での分布、元素の化学状態などを調べることができます。
EDX（エネルギー分散型X線分析）よりも分解能が高く、高感度であるという特徴があります。
- 測定対象
- 金属、鉄鋼、鉱物、半導体、ガラス、セラミックス、高分子、生物、食品などの固体
電子線マイクロアナリシス分析（EPMA）が関連する試験・分析
電子線マイクロアナリシス分析（EPMA）に対応可能な企業
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- パナソニック ホールディングス株式会社 プロダクト解析センター[大阪府門真市]
- パナソニック株式会社の幅広い分野の事業にわたり、蓄積されてきた設計解析技術・品質評価技術を、広くお客様に公開し、ソリューションサービスを受託致します。
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- 沖エンジニアリング株式会社[東京都練馬区]
- 電子部品（IC・LSI）の電気的特性評価に関する各種信頼性評価試験を受託しております。ISO/IEC17025に基づいた独立試験所として認定を取得しており、公正で中立な第三者の立場で評価・解析を行い国際的に通用するデータをご提供いたします。
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- 株式会社クオルテック[大阪府堺市]
- プリント配線板、電子部品実装の表面処理加工をはじめとした、開発・設計・製造から不良解析・信頼性試験、現場改善、コンサルタントにいたるまでトータルソリューションを提供します。
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- 株式会社島津テクノリサーチ[京都市中京区]
- 機器分析のプロ集団が受託分析、試験技術を提供。電子・電気材料分野、医薬品・化成品・食品分野、材料分析など幅広い分析・試験を実施いたします。
電子線マイクロアナリシス分析（EPMA）に用いる装置
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- 電子線マイクロアナライザ（EPMA）
- 電子線を試料に照射し、元素固有の信号（固有エックス線）を検出することにより、その物質の元素を定性・定量する装置。
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