電子線マイクロアナリシス分析（EPMA）とは

極表面近傍の元素分布状態を電子線マイクロアナライザ（EPMA）で解析することを指します。

固体試料の微小領域に電子線を照射し、試料中から発生する電子線をSEM観察します。
そこで検出した特性X線は、元素ごとに固有の波長を持っているので、試料の構成元素や含有量、試料内での分布、元素の化学状態などを調べることができます。

EDX（エネルギー分散型X線分析）よりも分解能が高く、高感度であるという特徴があります。

測定対象

金属、鉄鋼、鉱物、半導体、ガラス、セラミックス、高分子、生物、食品などの固体