透過型電子顕微鏡観察（TEM）とは

透過型電子顕微鏡（TEM）を用いて、薄片化した試料に電子線をあて、それを透過した電子を結像して拡大観察する手法です。試料内部の形態、結晶構造、組成、電子状態などを観察可能です。EDX検出器、EELS検出器、HAADF検出器などのオプション機能を組み合わせることで、さまざまな情報を得ることもできます。

TEMは物理学、化学、工学、生物学、医学などで幅広く用いられています。
主な用途は、金属や半導体、セラミックスなどを中心とした無機材料が多いですが、冷却機構を備えた装置を用いて生体試料、微生物、細胞などの観察にも用いられています。

透過型電子顕微鏡観察（TEM）の特徴

特徴

• 光学顕微鏡では観察不可能な微小な構造を鮮明に観察可能
• デバイス内のピンポイント評価や、微細デバイス構造の高精度な寸法計測が可能
• ナノレベルで結晶性評価・物質の同定を行うことができる

適用例

• 結晶構造解析・格子欠陥・転移の観察評価
• 形状・形態観察・膜厚評価
• 極微細構造の元素分析・状態分析
• 故障解析

• 製品・技術FIB＆TEM（微細構造解析）金属、樹脂、セラミクス等、各種材料の電子顕微鏡解析

  地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所（KISTEC）

• 製品・技術TEM/STEM：透過型電子顕微鏡分析

  ユーロフィンイーエージー株式会社

JIS K3850-2

空気中の繊維状粒子測定方法-第2部：直接変換-透過電子顕微鏡法

JIS K3850-3

空気中の繊維状粒子測定方法-第3部：間接変換-透過電子顕微鏡法

ISO 10312

環境大気-アスベスト繊維の定量-直接移送透過型電子顕微鏡法

ISO 13794

環境大気-アスベスト繊維の定量方法-間接移動透過型電子顕微鏡法

ISO 25498

マイクロビーム分析-分析電子顕微鏡-透過型電子顕微鏡による選択領域電子回析分析

ISO/TS 10797

ナノテクノロジ-透過型電子顕微鏡を使用する単一壁カーボンナノチューブの特性分析