走査型電子顕微鏡観察(SEM)とは

ラミネートフィルムの断面SEM観察

ラミネートフィルムの断面SEM観察
株式会社日立パワーソリューションズ様 提供)

走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)で観察する手法です。細かく絞った電子線を試料表面に照射して、発生する二次電子、反射電子、透過電子、X線の信号を検出し、試料の微細構造の観察や組成元素の定性分析・定量分析を行う手法です。

通常は二次電子像が利用される。透過電子を利用したものは走査型透過電子顕微鏡(STEM)と呼ばれます。

EDX検出器による元素分析が可能です。

走査型電子顕微鏡(SEM)では細い電子線で試料を走査し、電子線を当てた座標の情報から像を構築し、主にサンプル表面の構造を微細に観察します。一方、透過型電子顕微鏡(TEM)では試料全体に電子線を当て、主にサンプルの内部の構造を微細に観察します。

走査型電子顕微鏡(SEM)の特徴
特徴
  • 数十倍から数十万倍の倍率で観察可能
  • 光学顕微鏡と比較して焦点深度が2桁以上深く、広範囲に焦点の合った立体的な像が取得可能
  • 二次電子(SE:Secondary Electron)像、反射電子(BSE:BackScattered Electron)像、透過電子(TE:Transmitted Electron)像の観察が可能
  • 対象の外形を把握しやすい一方、対象の内部に関する情報はほとんど得られない
用途
  • 電子後方散乱回折(EBSD)法により結晶情報を取得可能
  • 電子線誘起電流(EBIC)を測定し、半導体の接合位置・形状を評価
  • 材料(繊維等)や部品の表面や断面形状の観察

走査型電子顕微鏡観察(SEM)に対応可能な企業

走査型電子顕微鏡観察(SEM)に用いる装置

関連規格

JIS H7804
電子顕微鏡による金属触媒の粒子径測定方法
JIS K0132
走査電子顕微鏡試験方法通則
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