走査型電子顕微鏡観察（SEM）とは

走査型電子顕微鏡（SEM）は、試料表面に照射した電子線の散乱や放出される信号を分析することで、試料の微細構造を可視化・分析する手法です。EDX検出器による元素分析も可能です。
通常は二次電子像が利用されます。透過電子を利用したものは走査型透過電子顕微鏡（STEM）と呼ばれます。

走査型電子顕微鏡（SEM）では、主にサンプル表面の構造を微細に観察します。一方、透過型電子顕微鏡（TEM）では、主にサンプルの内部の構造を微細に観察します。

走査型電子顕微鏡観察（SEM）の特徴

特徴

• 数十倍から数十万倍の倍率で観察可能
• 光学顕微鏡と比較して焦点深度が2桁以上深く、広範囲に焦点の合った立体的な像が取得可能
• 二次電子（SE）像、反射電子（BSE）像、透過電子（TE）像の観察が可能
• 対象の外形を把握しやすい一方、対象の内部に関する情報はほとんど得られない

用途

• 電子後方散乱回折（EBSD）法により結晶情報を取得可能
• 電子線誘起電流（EBIC）を測定し、半導体の接合位置・形状を評価
• 材料（繊維等）や部品の表面や断面形状の観察

• 製品・技術【故障解析】部品・材料等の不具合・トラブル対策（走査電子顕微鏡[SEM/EDS]を用いた元素分析）

  地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所（KISTEC）

• 製品・技術SEM/断面SEM：走査電子顕微鏡分析

  ユーロフィンイーエージー株式会社

JIS H7804

電子顕微鏡による金属触媒の粒子径測定方法

JIS K0132

走査電子顕微鏡試験方法通則