集束イオンビーム加工観察（FIB）とは

集束イオンビーム（FIB：Focused Ion Beam）は、イオンを電界で加速したビームを、静電レンズ系により数nm～数百nm径に集束したものです。イオンビームによって試料を精密に加工し、狙った場所の断面を観察できます。

画像を観測しながら、目的の場所の断面を正確に露出することができるほか、イオンビームによって発生した二次電子により試料表面の様子を観察するための画像（SIM像）を得ることができます。

そのため、FIB加工観察は、微細構造を有する実装基板、めっき処理した製品の表面改質層、はんだ付けの接合部、各種複合材料などの断面観察に適しています。

FIB加工の用途

FIBにはそのほかに以下のような用途があります。

• 走査型電子顕微鏡（SEM）用の断面試料作成
• 透過型電子顕微鏡（TEM）用の薄膜試料作成
• 炭素、タングステン、プラチナなどの成膜
• SIM像で金結晶粒の観察の観察
• EDX元素分析