集束イオンビーム(FIB)加工観察とは

集束イオンビーム(FIB:Focused Ion Beam)は、イオンを電界で加速したビームを、静電レンズ系により数nm~数百nm径に集束したものです。
FIBを試料表面に走査させることで、発生する2次電子を検出し、試料表面の様子を観察するための画像(SIM像)を得ることができます。

また、FIBは金属やセラミックスなどの材料に対して、目的の場所を高い位置精度で正確に断面加工することが可能です。

そのため、FIB加工観察は、微細構造を有する実装基板、めっき処理した製品の表面改質層、はんだ付けの接合部、各種複合材料などの断面観察に適しています。

FIB加工の用途
FIBにはそのほかに以下のような用途があります。
  • 走査型電子顕微鏡(SEM)用の断面試料作成
  • 透過型電子顕微鏡(TEM)用の薄膜試料作成
  • 炭素、タングステン、プラチナなどの成膜
  • SIM像で金結晶粒の観察の観察
  • EDX元素分析

集束イオンビーム(FIB)加工観察に対応可能な企業

集束イオンビーム(FIB)加工観察に用いる装置

お探しの企業が見つからなかった場合は、弊社のコーディネーターが代わりにお探しいたします

お気軽にご相談ください
ページ上部へ