集束イオンビーム加工観察（FIB）とは

集束イオンビーム（FIB：Focused Ion Beam）は、イオンを電界で加速したビームを、静電レンズ系により数nm～数百nm径に集束したものです。
FIBを試料表面に走査させることで、発生する2次電子を検出し、試料表面の様子を観察するための画像（SIM像）を得ることができます。

また、FIBは金属やセラミックスなどの材料に対して、目的の場所を高い位置精度で正確に断面加工することが可能です。

そのため、FIB加工観察は、微細構造を有する実装基板、めっき処理した製品の表面改質層、はんだ付けの接合部、各種複合材料などの断面観察に適しています。

FIB加工の用途

FIBにはそのほかに以下のような用途があります。

• 走査型電子顕微鏡（SEM）用の断面試料作成
• 透過型電子顕微鏡（TEM）用の薄膜試料作成
• 炭素、タングステン、プラチナなどの成膜
• SIM像で金結晶粒の観察の観察
• EDX元素分析