集束イオンビーム加工観察(FIB)とは
集束イオンビーム(FIB:Focused Ion Beam)は、イオンを電界で加速したビームを、静電レンズ系により数nm~数百nm径に集束したものです。
FIBを試料表面に走査させることで、発生する2次電子を検出し、試料表面の様子を観察するための画像(SIM像)を得ることができます。
また、FIBは金属やセラミックスなどの材料に対して、目的の場所を高い位置精度で正確に断面加工することが可能です。
そのため、FIB加工観察は、微細構造を有する実装基板、めっき処理した製品の表面改質層、はんだ付けの接合部、各種複合材料などの断面観察に適しています。
- FIB加工の用途
- FIBにはそのほかに以下のような用途があります。
- 走査型電子顕微鏡(SEM)用の断面試料作成
- 透過型電子顕微鏡(TEM)用の薄膜試料作成
- 炭素、タングステン、プラチナなどの成膜
- SIM像で金結晶粒の観察の観察
- EDX元素分析
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- 沖エンジニアリング株式会社[東京都練馬区]
- 収束イオンビーム装置(FIB; Focused Ion Beam)などにより、対象断面部位を観察し、電子部品の故障解析を行います。故障状態を把握し、 特性の測定や様々な観察・解析により故障原因の究明を行います。
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- 株式会社クオルテック[大阪府堺市]
- EBSD分析やパワーサイクル試験などの受託解析・信頼性試験から、研磨試料の作製、高耐食性無電解Niめっき液の開発、EMC対策のコンサルティングまで、トータル・ソリューションを提供いたします。
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- ファクトケイ株式会社[東京都大田区]
- 製品の開発・設計・試作の各段階における素材、部品、製品などの特性把握や、不具合解消のための各種環境試験、ガス腐食試験、電気特性試験など、あらゆる評価試験に対応します。
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- ルネサスエンジニアリングサービス株式会社[東京都小平市]
- 半導体品質業務で培ってきた技術にて、自動車分野・産業分野など多岐に渡り、お客様の半導体の品質向上を強力にサポート
集束イオンビーム加工観察(FIB)に対応可能な企業
集束イオンビーム加工観察(FIB)に用いる装置
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- 集束イオンビーム加工観察(FIB)装置
- ガリウムイオン源からイオンビームを抽出して5~10nmに集束させた上で、試料に照射させる装置。試料の表面状態を高分解能で観察可能。
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