気密性試験とは

気密性試験とは、中空パッケージの電子デバイスにおいて最も重要である気密性の問題（大気成分の侵入が無いか）を確認する試験です。

中空パッケージの空間部分は、窒素や希ガス等の不活性ガス、真空雰囲気で封止され、その雰囲気は低い露点（水蒸気を含む空気を冷却したとき、凝結が始まる温度）で保たれています。そのため、気密性が保持されていないと、大気成分である水分や酸素が中空パッケージの空間部分に浸入し、チップの酸化や腐食、内圧の変化、容量成分の劣化などが発生し、抵抗値異常などが生じ、中空パッケージの機能に影響を与えてしまいます。