ラザフォード後方散乱分析（RBS）とは
ラザフォード後方散乱分析法（RBS）は、固体試料にイオンビームを当てて、後方に散乱されるイオンのエネルギーと強度を測定する方法です。
この方法では、散乱されたイオンのエネルギーから、試料の成分や層構造を調べることができます。
高速イオンを試料に当てると、一部が原子核によって散乱されます。その散乱イオンのエネルギーから、試料の元素組成や深さ方向の分布を知ることができます。
対応情報
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製品・技術RBS：ラザフォード後方散乱分析
ユーロフィンイーエージー株式会社
ラザフォード後方散乱分析（RBS）に対応可能な企業
ラザフォード後方散乱分析（RBS）に用いる装置
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- ラザフォード後方散乱分析装置（RBS）
- 軽元素（ヘリウム等）イオンを高速で試料に当てて後方散乱する粒子を検出することで、相手元素やその分布などを分析する非破壊分析装置。ナノ薄膜の分析などに用いられます。
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