走査透過電子顕微鏡観察（STEM）とは

走査透過電子顕微鏡観察（STEM）は、極小に絞った電子ビームで薄膜試料を走査し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。

TEMと比べて、極小に絞った電子ビームを使うことで、試料内部の分布や結晶構造を画像化できます。また、EDSやEELSなどの検出器を組み合わせることで、組成や電子状態などの分析も行えます。

走査透過電子顕微鏡観察（STEM）の特徴

特徴

• HAADF像（Z[原子番号] コントラスト像）が取得可能
• 電子線プローブを走査できることから、EDS/EELSといった面分析を行える
• TEMに比べると比較的、薄片試料厚さが厚くても像の確認ができる

用途

• 原子列の可視化
• 元素分布の観察
• 原子レベルの分解能での組成分析や化学結合状態の評価

観察例

半導体デバイスに多く用いられるSiの＜110＞方向の環状暗視野STEM像では、Si原子列の0.136nm間隔で並ぶダンベル構造が観察できます。サブナノメートルの電子線プローブによって、原子列の可視化が可能です。

• 製品・技術TEM/STEM：透過型電子顕微鏡分析

  ユーロフィンイーエージー株式会社

JIS K0132

走査電子顕微鏡試験方法通則