微小加工装置 お悩みを解決する装置を探す

お悩みから装置を探す

※各製品は特徴を抜粋して掲載を行っています。他の用途に対応している製品もあります。ご了承ください。

1.均一な広い透過領域を確保し、ダメージレスなサンプルを作りたい

TEM観察においては、観察対象領域が均一に薄く、広い透過面積を持つことが求められます。しかし、従来のイオンミリングでは、照射ビームの不安定さや加工ムラにより、試料中央部に厚さが残ったり、周辺部が過剰に削れたりといった問題が生じやすく、高品質な透過領域の確保が困難でした。また、過剰なビームエネルギーによって試料に損傷が入り、構造解析に影響を及ぼすケースもあります。

お悩みを解決する方法は?

均一薄膜+ダメージレスなTEM試料作製

最新式のイオンミリングシステム等を利用することで、広い範囲で薄い領域を残した、TEM試料を作製することが可能になります。素材ごとに特性が異なるため、加工厚さの不均一が起きやすい中でも、半導体・金属・セラミックス・複合材料など、材質を問わず高い再現性で均一な薄膜領域を確保できます。

「サンプル品質」の課題を解決してくれる装置

製品 対応情報 特徴 企業名 関連情報
TEM Mill MODEL1051TEM Mill MODEL1051

種類

TEM用イオンミリング装置

イオン源

ビーム径:350μm(100eV時1mm)
ビームエネルギー:100eV~10keV
ビーム電流密度:~10mA/cm2

試料冷却

  • ・独立に制御可能な2つのイオン源
  • ・小さなビーム径を維持(100eV~10keV)
  • ・ミリング角度を連続的に変更(-15°~10°)
  • ・試料のロッキング(首振り)及び回転運動
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2.熱に弱い試料が加熱され、構造変化や脱ガスが発生してしまう

高分子材料や有機系試料、リチウム系化合物など、熱に敏感な試料では、ミリング中の局所加熱により構造変化や脱ガス、さらには分解が起こることがあります。特にイオンビーム照射時の熱ダメージは、再結晶化やアモルファス化といった不可逆な変化を招き、原子スケールの観察精度を大きく損なう原因になります。従来の装置では冷却性能が不十分で、加工条件に制限が出たり、試料の選定自体に制約が課されることもあります。

お悩みを解決する方法は?

冷却機構を搭載した装置なら、液体窒素等による温度可変冷却が可能に

試料温度の上昇を抑えることで、熱による再結晶化・脱ガス・構造緩和といったダメージを抑制しながらミリングが行えます。熱に敏感な材料(例:有機・高分子・リチウム系・低融点金属など)の試料作製にも最適です。

「熱に弱いサンプルの作製」の課題を解決してくれる装置

製品 対応情報 特徴 企業名 関連情報
SEM Mill MODEL1061SEM Mill MODEL1061

種類

SEM用イオンミリング装置

イオン源

ビームエネルギー:100eV~10keV
ビーム電流密度:~10mA/cm2

試料冷却

  • ・ビーム径の調整可
  • ・ミリング角度を連続的に変更(0°~10°)
  • ・試料の高さ(厚さ)を自動検知
  • ・平面試料、断面試料の両方に対応
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新着情報

  • 2025.4.25

    ニュース

    「微小加工装置 お悩みを解決する装置を探す」(当ページ)を公開しました。

微小加工装置とは

微小加工装置とは、電子顕微鏡(特にTEMやSEM)による高分解能観察に向けて、観察対象となる試料を薄く精密に加工するための装置です。材料の構造を極限まで高精度に可視化するには、試料自体が非常に薄く、均一で、かつ観察に適した状態である必要があります。

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