静電破壊試験(HBM、CDM)とは

半導体デバイスが静電気放電(ESD)を受けた際の耐性を評価する試験です。人体からの放電を模擬するHBM(Human Body Model)や、デバイス自身に蓄積した電荷の放電を模擬するCDM(Charged Device Model)を用いて、規定の電圧を印加します。

静電気による破損や誤動作の有無を確認し、半導体デバイスのESD耐性や信頼性を評価します。

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