超短パルスレーザ加工とは

超短パルスレーザ加工は、１つのパルスの幅（時間幅）が数ピコ秒から数フェムト秒の非常に短いパルスのレーザーのことをいいます。

超微細領域おいての非熱加工技術としては、FIB（集束イオンビーム）加工などがあります。FIB（集束イオンビーム）加工はサブナノ～シングルミクロン領域での加工を得意としていますが、材料のサイズが大きくシングルミクロン以上の加工については、除去加工がゆえに除去量が多くなり加工時間がかかってしまいました。

この領域での超短パルスレーザ加工では、レーザーによる非除去加工により、高速での加工が可能となります。

またFIB（集束イオンビーム）加工に比べ、加工可能な材料の幅が広がり、金属はもちろんセラミックスなど 脆性材料の加工や、ガラスやフィルムなどの透明体や樹脂系材料も加工が可能となります。