誘導結合プラズマ質量分析とは

誘導結合プラズマ質量分析（ICP-MS）は、製品や材料、医薬品や生体試料などに含まれる無機元素について、組成分析を行う手法の一つです。ICPはInductively Coupled Plasmaの省略であり、高周波誘導結合プラズマと訳され、発光分光分析法の一つの手法です。

高周波を用いてアルゴンガスを電離状態にし、高温（5,000～10,000K）のプラズマを発生させます。水溶液試料をネブライザで霧状にしてそのプラズマ内に導入して、プラズマのエネルギーを外部から与えると、試料中の原子がイオン化されます。イオン化された各原子を電場や磁場を用いて分離し、真空内に取り込む事で、各元素の濃度を測定し質量分析を行います。

グロー放電質量分析は溶液化の前処理が不要で、直接分析が可能だが、誘導結合プラズマ質量分析は前処理が必要で、水溶液中の測定が可能です。

誘導結合プラズマ発光分光分析（ICP-OES/ICP-AES）も同様の手法であるが、大きな違いは試料に含有されている成分元素（原子）を励起し、元素特有の発光線（スペクトル線）を測定することで、元素の定性分析、定量分析を行うのが誘導結合プラズマ発光分光分析です。

誘誘導結合プラズマ質量分析（ICP-MS）の特徴

特徴

• 同時に多元素の分析が可能（Li～U）（希ガス等の一部の元素を除く）
• 超高感度（ppb～）
• ダイナミックレンジが広い（ppb～数100ppm）

長所

• 検出下限値が良い（水溶液の場合pptレベルまで測定が可能）
• 質量分析なので同位体分析が出来る

短所

• 原子量が80以下の元素は、Ar及び主成分由来の分子イオンの質量干渉を受けやすい

用途

• 金属（鉄鋼、非鉄）、食品、環境（水道、環境水、排水）中の微量元素の定性・定量分析
• RoHS対応（Pb、Hg、Cd、T-Cr、Br）
• レアメタル・レアアース分析