X線CTとは

X線CT装置

X線CT装置
株式会社クオルテック様 提供)

X線CTは、X線を物体に照射して、どの位のエネルギーがその物体に吸収されるかという光の減衰量を検出し、360°分の計算をすることで内部画像の3Dデータを得る手法です。
CTとはComputed Tomographyの略で、コンピュータ断面(断層)撮影法と訳され、コンピュータを用いて内部画像を構成する技術のことです。

医療用で使用されていた技術であるが、最近では産業用X線CTの利用が広がっています。医業用X線CTは、X線の通り易さが製品の材質と大きさ(肉厚)、密度によって変わるということを利用して、内部構造を非破壊で観察することが可能になります。
具体的には、樹脂サンプルは比較的低いX線出力で透過できるが、アルミや鉄などの金属は比較的高いX線高出力でないと透過出来ないため、その差から製品内部の構造画像を取得し、大きな製品の内部観察及び内部の欠陥観察などに利用されています。

さらに、X線CTの技術と三次元測定機の技術を融合し、「内部を非破壊で寸法測定する装置」なども活用されています。

また、物体を走査(scan)することからX線CTスキャンと呼ばれることもあります。

X線透過撮影(透過X線)は、一方向からの2次元的な透過画像であるのに対して、X線CT撮影は、サンプルを回転させて360°分のX線透過画像を取り込み、画像をソフトで構築することで立体的(3次元的)な表現が可能です。

産業用X線CTの分析
原理
サンプルを回転テーブルの上に置き、X線を全方位から照射し、内部通過した際にX線が吸収されて減衰した濃淡を、線源の反対側に位置するX線検出装置で記録します。コンピュータで画像をフーリエ変換して3次元画像を再構成します。
数ミクロンの焦点サイズのマイクロフォーカスX線源を使用した装置を、マイクロフォーカスX線CTといい、ナノフォーカスX線源の装置もあります。
用途
故障箇所の特定と症状を非破壊で特定することができます。電気接続部の断線箇所、多層基板内部の異常層の特定などで利用されます。
観察対象
半導体、電気・電子部品、樹脂製品、パワーデバイス、パワーモジュールなどが対象になります。

X線CTに対応可能な企業

X線CTに関係する試験・規格情報の紹介

信頼性評価試験に関係する情報を、「信頼性評価コーナー」にて紹介しています。ご参照ください。

信頼性評価コーナー

X線CTに用いる装置

関連規格

JIS B7442
産業用X線CT装置-用語
JIS Z4751-2-44
医用X線CT装置-基礎安全及び基本性能
IEC 60601-2-44
Medical electrical equipment-Part 2-44: Particular requirements for the basic safety and essentialperformance of X-ray equipment for computed tomography
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